고순도 가스용 염화수소 압축기 | 부식성 가스 취급 전문 중국 공급업체 및 공장
염화수소 다이어프램 압축기의 장점
01
완벽한 밀봉, 안전한 누출 방지
정적 밀봉 설계는 동적 밀봉 지점 없이 다이어프램 헤드 챔버 내부에 가스를 완전히 밀폐하여 염화수소 가스의 누출을 근본적으로 차단합니다. 이는 작업자의 안전과 환경 친화성을 크게 향상시키며, 가장 엄격한 환경 및 안전 규정을 충족합니다.
02
초고순도 가스, 오염 없음
압축 공정 전체 과정에서 공정 가스는 특수 처리된 금속 다이어프램과 내식성 유동 접촉 부품에만 접촉하므로 윤활유나 밀봉 그리스로 인한 오염을 완전히 방지합니다. 이러한 특징 덕분에 이 장비는 반도체 에칭 공정에 사용되는 전자 등급 고순도 염화수소(순도 > 99.999%) 생산에 이상적이며 최종 제품의 품질을 보장합니다.
염화수소 다이어프램 압축기의 주요 설계 고려 사항
01
내식성 재료
염화수소와 접촉하는 모든 금속 부품(다이어프램 챔버, 실린더 헤드, 가스 밸브, 배관 및 플랜지)은 내식성 합금으로 제작됩니다. 표준 구성은 SS316L입니다. 습도가 높거나 가혹한 작동 조건에서는 고급 니켈 기반 합금의 사용 가능성을 검토합니다.
02
횡격막 신뢰성
핵심 절연 부품은 인코넬 718과 같은 높은 피로 강도를 가진 특수 합금으로 제작됩니다. 내장형 다이어프램 헤드 설계로 밀봉면을 단순화하고 누출 지점을 줄였습니다. 다이어프램 파열 경보 장치가 내장되어 있어 자동으로 작동을 멈춥니다.
03
안전 및 모니터링
압축기 스키드에는 액체 수분과 미립자를 제거하는 흡입 분리기가 통합되어 있습니다. 안전한 작동을 보장하기 위해 포괄적인 압력, 온도 및 오일 압력 모니터링 기능과 연동 차단 기능이 탑재되어 있습니다.
자격증
모델 선택
모델G70Z/G95Z/G110Z/G130Z
피스톤 스트로크70mm~130mm
최대 피스톤 힘10kN~30kN
최대 토출 압력70Mpa
유량 범위1~500Nm³/h
모터 출력2.2KW~30KW
크랭크축 속도420rpm
냉각 방식수냉식/공랭식
모델G70V/G95V/G130V
피스톤 스트로크70mm~130mm
최대 피스톤 힘10kN~30kN
최대 토출 압력50Mpa
유량 범위1~200Nm³/h
모터 출력2.2KW~30KW
크랭크축 속도420rpm
냉각 방식수냉식 / 공랭식
모델G110L/G130L
피스톤 스트로크110mm~130mm
최대 피스톤 힘20kN~40kN
최대 토출 압력100Mpa
유량 범위10~1000Nm³/h
모터 출력7.5KW~90KW
크랭크축 속도420rpm
냉각 방식수냉식 / 공랭식
모델G110D/G130D/G150D/G180D/G182D/G210D
피스톤 스트로크110mm~210mm
최대 피스톤 힘20kN~160kN
최대 토출 압력100Mpa
유량 범위30~2000Nm³/h
모터 출력22KW~200KW
크랭크축 속도420rpm
냉각 방식수냉식 / 공랭식
모델명명 설명
G 다이어프램형 압축기
와 함께 피스톤 스트로크 70mm
5 유량(Nm³/h)
0.5 입구 압력(바그)
8 출구 압력(바그)
| 아니요. | 모델 | 냉각수 | 흐름 | 입구 압력 | 출구 압력 | 크기 (길이×너비×높이) | 무게 | 모터 출력 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (리터/시간) | (Nm³/h) | (MPa) | (MPa) | (≈mm) | (≈kg) | (kW) | ||
| 1 | GZ-5/0.5-8 | 500 | 5 | 0.05 | 0.8 | 1400×740×1240 | 700 | 2.2 |
| 2 | GZ-14/39-45 | 500 | 14 | 3.9 | 4.5 | 1000×460×1100 | 700 | 2.2 |
| 3 | GZ-60/30-40 | 500 | 60 | 3.9 | 4.0 | 1400×800×1300 | 750 | 3.0 |
| 4 | GV-11/1-25 | 500 | 11 | 0.1 | 2.5 | 1500×780×1080 | 850 | 4.0 |
| 5 | GV-12/2-150 | 1000 | 12 | 0.2 | 15.0 | 1600×776×1080 | 900 | 5.5 |
| 6 | GV-400/20-60 | 3000 | 400 | 2.0 | 6.0 | 2600×1800×1700 | 3000 | 30.0 |
| 7 | GL-140/0.5-1.5 | 2000 | 140 | 0.05 | 0.15 | 2600×1800×1700 | 3000 | 15.0 |
| 8 | GL-150/0.3-5 | 2000 | 150 | 0.03 | 0.5 | 3230×1770×2200 | 3000 | 18.5 |
| 9 | GL-60/0.05-4 | 4000 | 60 | 0.005 | 0.4 | 2800×1600×1800 | 3000 | 22.0 |
| 10 | GD-255/1.2-28 | 6000 | 255 | 0.12 | 2.8 | 3600×2200×1800 | 6000 | 55.0 |
| 11 | GD-280/0.25-10 | 8000 | 280 | 0.025 | 1.0 | 3800×2300×2000 | 4000 | 75.0 |
| 12 | GD-450/1-12 | 9000 | 450 | 0.1 | 1.2 | 3800×2300×2000 | 4000 | 90.0 |
장비의 크기와 무게는 참고용일 뿐이며, 최종 설계가 우선합니다.
사례 연구
러시아 제국
미국
스페인
카자흐스탄
자주 묻는 질문
이 제품은 다이어프램 헤드 챔버 내부에 가스를 완전히 밀폐하는 정적 밀봉 설계가 특징입니다. 동적 밀봉 지점이 없으므로 염화수소 가스의 누출을 근본적으로 방지하여 작업자와 환경 모두를 보호합니다.
이 공정 가스는 특수 처리된 금속 다이어프램과 내식성 유동 접촉 부품에만 접촉합니다. 가스 챔버에는 윤활유나 밀봉 그리스가 사용되지 않으므로 오염 위험이 없어 전자 등급의 고순도(>99.999%) 응용 분야에 이상적입니다.
표준 구성에는 몰리브덴을 첨가하여 공식 및 응력 부식 균열에 대한 저항성을 향상시킨 SS316L 스테인리스강이 사용됩니다. 매우 중요하거나 습한 환경에서는 고급 니켈 기반 합금 및 인코넬 718 다이어프램이 사용됩니다.
압축기에는 안전 파열 경보 장치가 장착되어 있습니다. 내부 다이어프램이 파손될 경우, 안전 시스템이 즉시 압력 변화를 감지하여 경보를 울리고 시스템을 자동으로 차단하여 가스 누출을 방지합니다.
압축기 스키드에는 액체 수분과 미립자를 제거하는 고효율 입구 분리기가 통합되어 있습니다. 또한 가스 압력, 시스템 온도 및 오일 압력에 대한 포괄적인 모니터링 기능을 포함하고 있으며, 이러한 기능은 자동 연동 차단 기능과 직접 연결되어 있습니다.
당사는 GZ, GV, GL, GD의 네 가지 주요 시리즈를 제공합니다. 이 시리즈들은 70mm에서 210mm까지의 피스톤 스트로크, 최대 100MPa의 토출 압력, 그리고 1~2000Nm³/h의 유량 범위를 아우르며 다양한 산업 요구 사항을 충족합니다.




